Lithographie de nouvelle génération par nanoimpression assistée par UV: étude et développement de matériaux et procédés pour l'application microélectronique
La nanoimpression assistée par UV (UV-NIL) est une technique de lithographie émergente permettant de fabriquer des motifs de très petites dimensions (de l'ordre du nanomètre) par simple pressage d'un moule transparent et nanostructuré dans une résine fluide. Ce pressage est suivi par un fl...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
2007
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00180907 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/18/09/07/PDF/These-Pauline-Voisin-version-definitive.pdf |