Faisabilité d'un capteur de pression capacitif miniature sur silicium
Le capteur de pression étudié résulte de l'assemblage hybride d'une cellule sensible capacitive en technologie Silicium/Pyrex et d'un convertisseur capacité/fréquence basé sur le principe de la charge et de la décharge d'une capacité à courant constant. La modélisation de la répo...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université Paul Sabatier - Toulouse III
1998
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00132443 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/13/24/43/PDF/ThesePhMenini.pdf |