Conception, caractérisation et applications des plasmas micro-onde en configuration matricielle
Les procédés plasma de grandes dimensions, uniformes et denses, sont essentiels pour les traitements de surface qui demandent des vitesses de gravure ou de dépôt élevées et uniformes. Ainsi, l'objectif de cette étude est de produire des nappes de plasma uniformes et de fortes densités dans la g...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
2006
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00123911 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/13/14/01/PDF/These_Louis.pdf |