Nanométrologie dimensionnelle dédiée aux déplacements de platines macroscopiques

Ces travaux portent sur le domaine de la nanométrologie dimensionnelle, plus particulièrement dédiée aux positionnements et aux déplacements de platines mécaniques sur des courses millimétriques. On y trouvera des détails concernant les méthodes originales développées au laboratoire, associant mécan...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Chassagne, Luc
Language:FRE
Published: Université de Versailles-Saint Quentin en Yvelines 2006
Subjects:
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00120736
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/12/07/36/PDF/Habilitation_CHASSAGNE.pdf