Nanométrologie dimensionnelle dédiée aux déplacements de platines macroscopiques
Ces travaux portent sur le domaine de la nanométrologie dimensionnelle, plus particulièrement dédiée aux positionnements et aux déplacements de platines mécaniques sur des courses millimétriques. On y trouvera des détails concernant les méthodes originales développées au laboratoire, associant mécan...
Main Author: | |
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Language: | FRE |
Published: |
Université de Versailles-Saint Quentin en Yvelines
2006
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Subjects: | |
Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00120736 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/12/07/36/PDF/Habilitation_CHASSAGNE.pdf |