Contribution à l'introduction de concepts mécaniques dans les Micro et Nano Systèmes
Le groupe Microsystèmes Silicium de l'Institut d'Électronique, de Microélectronique du Nord (IEMN - maintenant N=Nanotechnologie) a axé sa recherche sur les micro-actionneurs et leur environnement. Cela nous permet d'étudier des problématiques amont liées au micro-actionnement, à son...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université des Sciences et Technologie de Lille - Lille I
2004
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00087273 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/08/72/73/PDF/HDR_Lionel_Buchaillot.pdf |