Caractérisation des Interactions entre une Microsphère et une Surface Métalliques aux Echelles Nanométriques.
Les MEMS et NEMS (Micro et Nano ElectroMechanical Systems) connaissent un développement important notamment dans le cadre de la Nanomécanique. Le bon fonctionnement de ces MEMS/NEMS est soumis au contrôle des interactions de surfaces séparées par des distances de l'ordre de 100 nm à 1 Μm. A cet...
| Main Author: | |
|---|---|
| Language: | FRE |
| Published: |
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00069070 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/06/90/70/PDF/thesegauthier.pdf |