Etude des procédés de croissance de couche et de décapage ionique par mesures de diffusion spéculaire et diffuse de rayons X

Etude des procédés de croissance de couche et de décapage ionique par mesures de diffusion spéculaire et diffuse de rayons X

Une nouvelle technique basée sur la diffusion des rayons X et un montage adapté ont été conçus et implémentés sur la ligne de lumière BM5 de l'ESRF. L'instrument permet l'étude in situ et en temps réel e la rugosité d'une surface par diffusion en incidence rasante. L'interac...

Full description

Bibliographic Details
Main Author:	Peverini, Luca
Language:	ENG
Published:	2005
Subjects:	[PHYS:COND] Physics/Condensed Matter [PHYS:PHYS] Physics/Physics diffusion des rayons X reflectometrie des rayons X in-situ films minces rugosité Pulverisation Croissance des film minces Erosion Ionique Fractales Scaling
Online Access:	http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00011519 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/05/74/12/PDF/peverini-tesi-PhD.pdf

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