Etude des procédés de croissance de couche et de décapage ionique par mesures de diffusion spéculaire et diffuse de rayons X
Une nouvelle technique basée sur la diffusion des rayons X et un montage adapté ont été conçus et implémentés sur la ligne de lumière BM5 de l'ESRF. L'instrument permet l'étude in situ et en temps réel e la rugosité d'une surface par diffusion en incidence rasante. L'interac...
Main Author: | |
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Language: | ENG |
Published: |
2005
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Subjects: | |
Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00011519 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/05/74/12/PDF/peverini-tesi-PhD.pdf |