Nouvelle filière technologique pour micro-commutateurs parallèles capacitifs micro-ondes sur membrane diélectrique
Ce mémoire traite de l'élaboration d'une nouvelle filière technologique pour micro-commutateurs parallèles capacitifs micro-ondes sur membrane diélectrique. Les micro-commutateurs sont des ponts à air métalliques actionnés électrostatiquement et structurés par un micro-usinage de surface....
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université Paul Sabatier - Toulouse III
2005
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00011430 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/05/55/62/PDF/Manuscrit_These_RABBIA_Laurent.pdf |