Etude de la thermomigration de l'aluminium dans le silicium pour la réalisation industrielle de murs d'isolation dans les composants de puissance bidirectionnels
Ce mémoire présente nos travaux sur la thermomigration de l'aluminium dans le silicium comme alternative à la diffusion bore pour la réalisation des murs d'isolation dans les composants de puissance bidirectionnels. Dans un premier temps, nous avons ainsi mis en évidence les limites de la...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
INSA de Toulouse
2002
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| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00010945 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/04/87/40/PDF/tel-00010945.pdf |