Etude des mécanismes de collage des microsystèmes lors de la phase de libération. Mise en oeuvre de moyens de prévention
Les microsystèmes regroupent sur un même substrat des fonctions électroniques, mécaniques, optiques, chimiques ou biologiques et sont fabriqués par les procédés de la microélectronique. Leurs particularités géométriques les rendent extrêmement sensibles aux forces de surfaces qui peuvent conduire à...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université de la Méditerranée - Aix-Marseille II
2004
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| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00010158 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/04/84/16/PDF/tel-00010158.pdf |