Couches minces de ferrites spinelles à propriétés semiconductrices destinées à la réalisation de microbolomètres

Les conditions d'élaboration de couches minces de ferrites riches en zinc ont été étudiées en vue de leur intégration comme matériau thermomètre dans des microbolomètres. La pulvérisation cathodique radiofréquence s'est avérée assimilable à un traitement à haute température sous faible pre...

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Bibliographic Details
Main Author: Capdeville, Stéphanie
Language:FRE
Published: Université Paul Sabatier - Toulouse III 2005
Subjects:
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00009540
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/04/81/57/PDF/tel-00009540.pdf