Gravure de la grille en silicium pour les filières CMOS sub-0,1 µm
Ce travail de thèse s'inscrit dans le cadre des recherches avancées pour l'élaboration de la grille en silicium amorphe, pour les applications CMOS sub-0,1 µm. Cette étude a été menée sur la plate-forme de gravure du CNET, équipée de différents outils de caractérisation installés in situ....
| Main Author: | |
|---|---|
| Language: | FRE |
| Published: |
2000
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00009026 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/04/79/69/PDF/tel-00009026.pdf |