Polarimétrie de Mueller résolue angulairement
Avec la diminution constante de la taille des transistors dans la microélectronique, les outils de caractérisation doivent être de plus en plus précis et doivent fournir un débit de plus en plus élevé. La fabrication de semi-conducteurs étant un processus couche par couche, le positionnement précis...
| Main Author: | |
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| Language: | ENG |
| Published: |
Ecole Polytechnique X
2011
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://pastel.archives-ouvertes.fr/pastel-00741059 http://pastel.archives-ouvertes.fr/docs/00/74/10/59/PDF/Version_Finale.pdf http://pastel.archives-ouvertes.fr/docs/00/74/10/59/ANNEX/soutenance_V1.pptx |