ETUDE THEORIQUE ET EXPERIMENTALE D'UNE MICRO DECHARGE A CATHODE CREUSE A PRESSION INTERMEDIAIRE DANS L'ARGON

Les microplasmas correspondent à des décharges confinées sur de faibles échelles spatiales (typiquement quelques 100 µm) offrant ainsi une grande stabilité pour des densités de puissance de l'ordre de 100 kW/cm3. L'étude de ces décharges s'est fortement développée à partir du début de...

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Bibliographic Details
Main Author: Lazzaroni, Claudia
Language:FRE
Published: Ecole Polytechnique X 2010
Subjects:
Online Access:http://pastel.archives-ouvertes.fr/pastel-00552043
http://pastel.archives-ouvertes.fr/docs/00/55/20/43/PDF/ThA_se_Lazzaroni_PASTEL.pdf