Contribution à l'étalonnage d'une machine à mesurer de très haute précision : mesure de rectitude et de planéité à un niveau d'incertitudes nanométriques
L'objet de ce travail est de proposer une étude métrologique visant à la maîtrise d'incertitudes de l'ordre de ±10 nanomètres sur une rectitude de longueur 300mm mesurée avec un pas constant. Une extension permet d'appliquer cette méthode au cas de la planéité. Le plan ainsi étal...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
2010
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://pastel.archives-ouvertes.fr/pastel-00527789 http://pastel.archives-ouvertes.fr/docs/00/52/77/89/PDF/thA_se_Boripatkosol_Octobre2010.pdf |