Synthèse et contrôle de la taille de nanocristaux de silicium par plasma froid. Application dans les domaines de l'optoélectronique et de la nanoélectronique.
Dans cette thèse nous avons montré que l'on peut on peut synthétiser des nanocristaux de silicium en utilisant des plasmas pulsés de silane dilué dans l'hydrogène. Dans nos conditions de dépôt, en changeant le temps de croissance entre 100 msec et 1 seconde, nous avons pu contrôler la tail...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Ecole Polytechnique X
2008
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://pastel.archives-ouvertes.fr/pastel-00004159 http://pastel.archives-ouvertes.fr/docs/00/50/37/27/PDF/Thuat_Nguyen_Tran.pdf |