Effets de la fréquence d'excitation sur l'uniformité du plasma dans les réacteurs capacitifs grande surface.

Effets de la fréquence d'excitation sur l'uniformité du plasma dans les réacteurs capacitifs grande surface.

Les décharges capacitives basse pression sont couramment utilisées dans l'industrie des écrans plats pour le dépôt de couches minces sur des substrats de plus en plus grande surface. L'augmentation de la fréquence d'excitation (typiquement de 13.56 MHz à 200 MHz) produit des sources d...

Full description

Bibliographic Details
Main Author:	Hacala-Perret, Amélie
Language:	FRE
Published:	Ecole Polytechnique X 2004
Subjects:	[PHYS:PHYS:PHYS_PLASM-PH] Physics/Physics/Plasma Physics Décharges capacitives Vhf Effet d'onde stationnaire Effet de peau Plasmas basse pression Analyseurs d'énergie
Online Access:	http://pastel.archives-ouvertes.fr/pastel-00000837 http://pastel.archives-ouvertes.fr/docs/00/50/33/63/PDF/PERRETweb.pdf

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