АНАЛІЗ І КЛАСИФІКАЦІЯ МЕТРОЛОГІЧНОГО ЗАБЕЗПЕЧЕННЯ ВИМІРЮВАНЬ РЕЛЬЄФУ НАНООБ’ЄКТІВ
У статті проведено аналіз наявних методів та засобів вимірювання рельєфу нанооб’єктів і розроблено їх класифікацію на основі принципів використання. Розглянуто основні інформаційні параметри, на яких базується кожний описаний метод, та визначено умови їх найбільш ефективного застосування для виріше...
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Cherkasy State Technological University
2021-04-01
|
| Series: | Вісник Черкаського державного технологічного університету |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vtn.chdtu.edu.ua/article/view/228157 |