Diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos a partir de películas delgadas

Diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos a partir de películas delgadas

Este artículo presenta el diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos basados en películas delgadas. El sistema trabaja con una fuente ultravioleta (UV) de 380nm y permite obtener microestructuras de 10-200 μm. La implementación se hizo con el proceso de d...

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Bibliographic Details
Main Authors: Jhon Jairo Realpe, Gilberto Bolaños-Pantoja, Juan Fernando Florez
Format: Article
Language:English
Published: Universidad Nacional de Colombia 2018-04-01
Series:Dyna
Subjects:
diseño de productos
fotolitografía
microdispositivo
películas delgadas
Online Access:https://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/article/view/68837

Internet

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