Düşük Basınçta İndüktif Bağlı Radyo-Frekans Neon Akan Deşarjın Özellikleri
İndüktif olarak bağlı radyo-frekans (RF) deşarj odasında 0,17 mbar ile 1,4 mbar arasındaki basınçlarda bulunan neon (Ne) deşarjını karakterize etmek için optik emisyon spektrumları kullanılmıştır. 13,56 MHz frekansında 100, 160 ve 200 W çıkış güçlerinde çalışan RF güç kaynağı ile kuvars deşarj odası...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Suleyman Demirel University
2019-11-01
|
| Series: | Süleyman Demirel Üniversitesi Fen-Edebiyat Fakültesi Fen Dergisi |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://dergipark.org.tr/tr/pub/sdufeffd/issue/50336/573326?publisher=sdu-1 |