Розробка інтегрованої системи контролю топологічних елементів оптичних шкал та сіток

Розроблено науково-технічний підхід для створення інтегральної вимірювальної системи для технологічного аудиту та контролю геометричних розмірів топологічних елементів оптичних шкал та сіток. Проаналізовано чинники, які впливають на величину корисного сигналу та експериментально показано переваги LE...

Full description

Bibliographic Details
Main Authors: Валентин Іванович Гордієнко, Наталія Володимирівна Качур, Ольга Миколаївна Маркіна, Володимир Петрович Маслов
Format: Article
Language:English
Published: PC Technology Center 2015-05-01
Series:Tehnologìčnij Audit ta Rezervi Virobnictva
Subjects:
Online Access:http://journals.uran.ua/tarp/article/view/44395