Збудження коронного розряду для телевізійного контролю дефектів кристалічного кремнію
Досліджено умови та параметри збудження негативного імпульсного коронного розряду у повітрі. Запропоновано конструкцію газорозрядного пристрою із діелектричною пластиною та прозорим тонкоплівковим електродом для візуалізації дефектів в коронному розряді. Отримано стійке збудження коронного розряду п...
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
PC Technology Center
2016-01-01
|
| Series: | Tehnologìčnij Audit ta Rezervi Virobnictva |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://journals.uran.ua/tarp/article/view/60301 |