Reconstrucción de objetos por perfilometría interferométrica con sistema de posicionamiento de mira periódica
En este trabajo se presenta un método para extraer información 3D usando un microscopio interferométrico, sin la necesidad de utilizar un dispositivo transductor piezoeléctrico (PZT, por su siglas en inglés). En lugar de ello se utiliza un sistema de posicionamiento que aprovecha la sensibilidad a l...
| Main Authors: | , , |
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| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Universidad Nacional de Colombia
2015-01-01
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| Series: | Dyna |
| Online Access: | http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=49637154020 |