Diseño y construcción de un reactor mecatrónico para el crecimiento de películas delgadas por la técnica de recubrimiento por inmersión
Se presenta el diseño y construcción de un sistema mecatrónico automatizado para el crecimiento de películas delgadas por la técnica de recubrimiento por inmersión. El sistema consta de un porta sustrato que realiza desplazamientos verticales entre dos posiciones ajustables. El movimiento del porta...
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Format: | Article |
Language: | English |
Published: |
Universidad EAFIT
2014-03-01
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Series: | Ingeniería y Ciencia |
Subjects: | |
Online Access: | http://publicaciones.eafit.edu.co/index.php/ingciencia/article/view/2031 |