Diseño y construcción de un reactor mecatrónico para el crecimiento de películas delgadas por la técnica de recubrimiento por inmersión

Se presenta el diseño y construcción de un sistema mecatrónico automatizado para el crecimiento de películas delgadas por la técnica de recubrimiento por inmersión. El sistema consta de un porta sustrato que realiza desplazamientos verticales entre dos posiciones ajustables. El movimiento del porta...

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Bibliographic Details
Main Authors: A A Velásquez, J P Urquijo, Y Gutiérrez
Format: Article
Language:English
Published: Universidad EAFIT 2014-03-01
Series:Ingeniería y Ciencia
Subjects:
Online Access:http://publicaciones.eafit.edu.co/index.php/ingciencia/article/view/2031