Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen
Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt für ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wärmebehandlung bietet die Möglichkeit, Ni-Al Superlegierungen für Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu...
| Format: | eBook |
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| Language: | German |
| Published: |
KIT Scientific Publishing
2013
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| Series: | Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Materialien, Karlsruher Institut für Technologie
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| Subjects: | |
| Online Access: | Open Access: DOAB: description of the publication Open Access: DOAB, download the publication |