磁気記録評価装置用変位拡大位置決め制御機構の機構形状とコントローラの統合化設計

by ANDO, Hiroki, 安藤, 大樹, SAKAI, Takeshi, 酒井, 猛, OBINATA, Goro, 大日方, 五郎
Published 2006