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    Estudo e produção de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) pela técnica de PECVD.
    by Denise Criado Pereira de Souza
    Published 2003
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  2. 2
    Estudo da morfologia e estrutura de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) obtidos pela técnica de PECVD.
    by Denise Criado Pereira de Souza
    Published 2007
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