Películas amorfas de SixCyN depositadas mediante ECR-PECVD

by Barbadillo, L., Hernández, M. J., Cervera, M., Piqueras, J.
Published 2000-08-01

Estudio por microscopía electrónica y espectroscopía de infra-rojos de capas de SiC obtenidas mediante carburización de obleas de Si

by Morales, F. M., Ramírez, J., Fernández, C., Barbadillo, L., Piqueras, J., Araújo, D., Molina, S. I., García, R.
Published 2004-04-01