FEATURES OF CONSTRUCTION OF POWER SUPPLY SYSTEM OF THE INVERSE MAGNETRON SPUTTERING SYSTEMS FOR THE FORMATION OF MULTICOMPONENT COATINGS (CONTROL METHOD OF DISTRIBUTION PROCESS AND...

by Леонід Васильович Литовченко, Володимир Петрови Колесник, Олег Миколайович Чугай, Андрій Олександрович Бояркін, Денис Віталійович Слюсар, Микола Петрович Степанушкин, Сергій Володимирович Олійник
Published 2019-06-01