Estudo das etapas de fabricação de dispositivos eletro-termo-ópticos utilizando o interferômetro Mach-Zehnder.

Estudo das etapas de fabricação de dispositivos eletro-termo-ópticos utilizando o interferômetro Mach-Zehnder.

Neste trabalho é realizado o estudo das etapas de fabricação de um dispositivo eletro-termo-óptico. O dispositivo baseia-se em um interferômetro Mach-Zehnder (IMZ) onde um micro-resistor é colocado em um dos braços do IMZ. Este interferômetro foi construído usando guias de onda ARROW (Anti-Resonant...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Mina, Alexandre Martin
Other Authors: Alayo Chávez, Marco Isaías
Format: Others
Language:pt
Published: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP 2008
Subjects:
Integrated optic
Mach-Zehnder
Óptica
PECVD
Processos de microeletrônica
Sensor
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24092008-140132/

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