Desenvolvimento de sistema de esterilização por plasma a baixa pressão, usando sistema de acoplamento capacitivo e acoplamento indutivo

O objetivo deste estudo foi avaliar a eficácia da esterilização por plasma, utilizando como sensor o indicador biológico, esporos deBacillus subtilis. Nesse estudo foram utilizados reatores constituídos de acoplamento capacitivo modo RIE (Reactive Ion Etching) e acoplamento indutivo modo ICP (Induc...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Moreira, Adir Jose
Other Authors: Pinto, Terezinha de Jesus Andreoli
Format: Others
Language:pt
Published: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP 2006
Subjects:
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/9/9139/tde-01122006-124302/