Estudo dos mecanismos responsáveis pela passivação de metais: cobre

è estuda a cinética de oxidação de filmes finos de cobre e os mecanismos envolvidos em sua passivação através de; implamtação iônica, formação de ligas e utilização de uma camada protetora. === Oxidation kinetics and its mechanisms has been studied for thin Copper films deposited by PVD on glossy ca...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Attie, Marcia Regina Pereira
Other Authors: Tabacniks, Manfredo Harri
Format: Others
Language:pt
Published: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP 2008
Subjects:
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-01092008-154507/
Description
Summary:è estuda a cinética de oxidação de filmes finos de cobre e os mecanismos envolvidos em sua passivação através de; implamtação iônica, formação de ligas e utilização de uma camada protetora. === Oxidation kinetics and its mechanisms has been studied for thin Copper films deposited by PVD on glossy carbon (UDAC) and Si wafers.