Estudo dos mecanismos responsáveis pela passivação de metais: cobre
è estuda a cinética de oxidação de filmes finos de cobre e os mecanismos envolvidos em sua passivação através de; implamtação iônica, formação de ligas e utilização de uma camada protetora. === Oxidation kinetics and its mechanisms has been studied for thin Copper films deposited by PVD on glossy ca...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | pt |
| Published: |
Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
2008
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-01092008-154507/ |
| Summary: | è estuda a cinética de oxidação de filmes finos de cobre e os mecanismos envolvidos em sua passivação através de; implamtação iônica, formação de ligas e utilização de uma camada protetora. === Oxidation kinetics and its mechanisms has been studied for thin Copper films deposited by PVD on glossy carbon (UDAC) and Si wafers. |
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