Estudo de técnicas de nanofabricação aplicada à filmes semicondutores
Este trabalho teve como objetivo principal o estudo de técnicas de nanofabricação aplicadas a filmes semicondutores do grupo 111-V, crescidos pela técnica de epitaxia por feixe molecular. Padrões, visando o domínio da técnica e a produção de nano-estruturas foram criados em filmes de GaAs utilizando...
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| Format: | Others |
| Language: | pt |
| Published: |
Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
1999
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-01042014-171353/ |