Élaboration d'un procédé de microfabrication et caractérisation de tiges suspendues pour un moteur électrostatique à micro-échelle
Le travail effectué pour ce projet avait pour objectif la réalisation de tiges microscopiques suspendues dans le but de les utiliser ultérieurement pour la fabrication d'un micromoteur MEMS nouveau genre. Cette recherche visait aussi à fonder les bases de la réalisation de microsystèmes mécaniq...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | French |
| Published: |
Université de Sherbrooke
2005
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| Online Access: | http://savoirs.usherbrooke.ca/handle/11143/5320 |