Réalisation de structures métal - isolant - semiconducteur sur GaN par déposition PECVD de Si[indice inférieur x]N[indice inférieur y]
Ce travail a été réalisé au Centre de Recherche en Nanofabrication et Nanocaractérisation (CRN[indice supérieur 2]) de l'Université de Sherbrooke. Il porte sur l'étude, la réalisation et la caractérisation de structures métal - isolant - semiconducteur (MIS) sur nitrure de gallium. Le nitr...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | French |
| Published: |
Université de Sherbrooke
2010
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://savoirs.usherbrooke.ca/handle/11143/1586 |