Microusinage de verre photosensible par exposition UV avec un laser excimère ArF (193nm)
Le verre est un matériau prometteur qu'on retrouve dans de nombreuses applications en photonique et en optoélectronique. Au cours de la dernière décennie, un intérêt croissant a été porté sur ce matériau pour la fabrication de micro système électro-mécanique. Les méthodes conventionnelles de mi...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | French |
| Published: |
Université de Sherbrooke
2008
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| Online Access: | http://savoirs.usherbrooke.ca/handle/11143/1453 |