Validation d'un modèle de simulation d'imagerie par microscopie électronique à balayage par l'étude d'hétérostructures semi-conductrices de très haute résolution

Validation d'un modèle de simulation d'imagerie par microscopie électronique à balayage par l'étude d'hétérostructures semi-conductrices de très haute résolution

Ce mémoire de maîtrise, a pour thème la validation d'un modèle de simulation de l'interaction électrons-matière en rapport avec la microscopie électronique à balayage. Un logiciel de simulation, CASINO, basé sur la méthode de Monte Carlo, a été développé à Sherbrooke, par le Dr Dominique D...

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Bibliographic Details
Main Author: Tastet, Xavier
Other Authors: Drouin, Dominique
Language:French
Published: Université de Sherbrooke 2004
Online Access:http://savoirs.usherbrooke.ca/handle/11143/1257
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spelling ndltd-usherbrooke.ca-oai-savoirs.usherbrooke.ca-11143-12572016-04-07T05:21:41Z Validation d'un modèle de simulation d'imagerie par microscopie électronique à balayage par l'étude d'hétérostructures semi-conductrices de très haute résolution Tastet, Xavier Drouin, Dominique Ce mémoire de maîtrise, a pour thème la validation d'un modèle de simulation de l'interaction électrons-matière en rapport avec la microscopie électronique à balayage. Un logiciel de simulation, CASINO, basé sur la méthode de Monte Carlo, a été développé à Sherbrooke, par le Dr Dominique Drouin [Drouin, 2001]. On peut comparer les résultats théoriques aux données expérimentales. Si on connaît les conditions expérimentales, et que les résultats théoriques concordent, on peut alors considérer que le modèle de calcul est adéquat pour ces conditions de travail. Tout ce travail est basé sur cette démarche de comparaisons. Plusieurs échantillons ont été fabriqués par épitaxie par jets moléculaires de matériaux III-V; Cette technique permet un excellent contrôle de la composition chimique et de l'épaisseur des couches déposées. Des structures équivalentes vont être décrites dans CASINO. Les micrographies obtenues en microscopie électronique à balayage vont servir de données expérimentales; les simulations seront alors comparées aux mesures expérimentales".--Résumé abrégé par UMI. 2004 Mémoire 0494003057 http://savoirs.usherbrooke.ca/handle/11143/1257 fre © Xavier Tastet Université de Sherbrooke
collection NDLTD
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