Un nouvel actuateur électrodynamique pour le microscope à effet tunnel

• Main Author: Mazoyer, Jérôme
• Other Authors: Paillard, Bruno
• Language: French
• Published: Université de Sherbrooke 2001
• Online Access: http://savoirs.usherbrooke.ca/handle/11143/1115

Ce document présente l'étude des performances d'un actuateur de type électrodynamique pour le positionnement de la pointe de lecture d'un microscope à effet tunnel relativement à l'échantillon observé. On y décrit le principe de fonctionnement du microscope à effet tunnel, à partir duquel sont déduites les caractéristiques que doit posséder un tel type d'actuateur. La réalisation de prototypes ainsi que la mesure de certaines de leurs propriétés permettent d'évaluer les performances que l'on peut atteindre avec un actuateur de cette nature et de les comparer avec celles offertes par l'actuateur piézoélectrique traditionnel. Des méthodes de correction numérique mettant en oeuvre l'inverse de réponses naturelles en déplacement de l'actuateur sont implémentées afin d'améliorer la bande passante. L'ensemble des résultats obtenus permettent d'obtenir des indications sur la validité d'un actuateur de type électrodynamique pour une utilisation en microscopie à effet tunnel.