Gestion thermique des composants d’électronique de puissance - Utilisation du diamant CVD
L’augmentation de la densité de puissance des convertisseurs d’énergie électrique nécessite une gestion thermique toujours plus performante. La thermique devient même l’élément dimensionnant de ces convertisseurs et est au centre des préoccupations des concepteurs. Le diamant présente des propriétés...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Others |
| Published: |
2012
|
| Online Access: | http://oatao.univ-toulouse.fr/6926/1/zhang.pdf |
| Summary: | L’augmentation de la densité de puissance des convertisseurs d’énergie électrique nécessite une gestion thermique toujours plus performante. La thermique devient même l’élément dimensionnant de ces convertisseurs et est au centre des préoccupations des concepteurs. Le diamant présente des propriétés physico-chimiques exceptionnelles particulièrement adaptées à la gestion thermique des composants semi-conducteurs de l’électronique de puissance. C’est en effet le meilleur matériau isolant et conducteur thermique connu à ce jour. La possibilité de réaliser du diamant polycristallin de manière reproductible par synthèse CVD ouvre aujourd’hui à ce matériau un grand champ d’applications industrielles. Nous avons étudié les potentialités d’applications au domaine particulier de l’électronique de puissance. Nous avons tout d’abord développé une plateforme de simulation COMSOL qui nous permette d’évaluer différentes structures pour optimiser le système de refroidissement des composants d’électronique de puissance. Nous avons alors étudié deux solutions, l’utilisation d’un substrat diamant épais pour reporter les composants ou le dépôt direct d’une fine couche de passivation sur les composants en fin de fabrication. Nous avons ainsi développé une structure à substrat diamant et micropoteaux en cuivre qui permet d’extraire jusqu’à 800 W/cm² sous le composant pour un échauffement de 120°C. Cette structure a été réalisée technologiquement pour valider toute la démarche de simulation et conception. Ce prototype propose des performances particulièrement intéressantes pour l’intégration des convertisseurs d’électronique de puissance à haute densité de puissance. Nous avons également étudié la passivation des composants avec du diamant CVD en lieu et place du SiO2. L’intérêt d’une telle passivation est démontré en simulation et les différentes étapes de la réalisation technologique sont étudiées. Cette dernière partie met en évidence des difficultés qu’il faudra lever si l’on souhaite utiliser le diamant comme couche de passivation |
|---|