id ndltd-uni-goettingen.de-oai-ediss.uni-goettingen.de-11858-00-1735-0000-0006-B574-7
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spelling ndltd-uni-goettingen.de-oai-ediss.uni-goettingen.de-11858-00-1735-0000-0006-B574-72014-01-03T04:56:28ZNeuaufbau eines Pelletron-Beschleunigers und Untersuchungen zum Laserhydrieren von SiliziumRebuild of a pelletron accelerator and investigations on laser hydriding of siliconSchwickert, Marcus530 PhysikMathematics and Computer ScienceIonenstrahlenMaRPelresonante KernreaktionsanalyseNRARBS-ChannelingExcimer-Laser RekristallisationELCLaserhydrierenWasserstoffTitanSiliziumion beamMaRPelnuclear reactions analysisNRARBS-channelingexcimer laser recrystallizationELClaser hydridinghydrogentitaniumsilicon33.0533.6133.68RT700RTJ500RVC850Lieb, Klaus-Peter Prof. Dr.2003-03-17T15:34:01Z2013-01-18T13:38:32Z2013-01-30T23:51:10Z2003-03-172002-10-29doctoralThesisapplication/pdfhttp://hdl.handle.net/11858/00-1735-0000-0006-B574-7urn:nbn:de:gbv:7-webdoc-545-2webdoc-545362446369gerhttp://webdoc.sub.gwdg.de/diss/copyrdiss.htm
collection NDLTD
language German
format Doctoral Thesis
sources NDLTD
topic 530 Physik
Mathematics and Computer Science
Ionenstrahlen
MaRPel
resonante Kernreaktionsanalyse
NRA
RBS-Channeling
Excimer-Laser Rekristallisation
ELC
Laserhydrieren
Wasserstoff
Titan
Silizium
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nuclear reactions analysis
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laser hydriding
hydrogen
titanium
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33.05
33.61
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RT700
RTJ500
RVC850
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Schwickert, Marcus
Neuaufbau eines Pelletron-Beschleunigers und Untersuchungen zum Laserhydrieren von Silizium
author2 Lieb, Klaus-Peter Prof. Dr.
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Schwickert, Marcus
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publishDate 2003
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http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:7-webdoc-545-2
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