Étude fondamentale des interactions plasma-graphène dans les plasmas Argon/B2H6
Les travaux de recherche menés dans cette thèse de doctorat se sont focalisés sur la compréhension des interactions graphène-plasma dans le cas de l’exposition de graphène polycristallin à un plasma d’argon pouvant contenant du diborane (B2H6). Une attention particulière est portée sur la cinétique...
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | fra |
| Published: |
2021
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/1866/25253 https://orcid.org/0000-0002-2604-4752 |