Dynamique de croissance par plasma RF magnétron des couches minces à base d’oxyde de zinc
Le but de cette thèse était d’étudier la dynamique de croissance par pulvérisation par plasma RF magnétron des couches minces à base d’oxyde de zinc destinées à des applications électroniques, optoélectroniques et photoniques de pointe. Dans ce contexte, nous avons mis au point plusieurs diagnostics...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | fr |
| Published: |
2015
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| Online Access: | http://hdl.handle.net/1866/12351 |