Plasmaunterstützte Abscheidung von dielektrischen Schichten zur Entwicklung von mikromechanisch abstimmbaren optischen Komponenten
Die Untersuchung von dielektrischen Schichten, die von einer induktiv gekoppelten Plasmaabscheideanlage abgeschieden werden, sowie die Anwendung der abgeschiedenen Einzel- und Mehrfachschichten für mikro-opto-elektro-mechanische Systeme ist Thema dieser Arbeit. Die Arbeit unterteilt sich daher in zw...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Others |
| Language: | German de |
| Published: |
2011
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| Online Access: | https://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/2603/1/Jatta_Plasma_CVD_MOEMS.pdf Jatta, Sandro <http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/view/person/Jatta=3ASandro=3A=3A.html> (2011): Plasmaunterstützte Abscheidung von dielektrischen Schichten zur Entwicklung von mikromechanisch abstimmbaren optischen Komponenten.Darmstadt, Technische Universität, [Ph.D. Thesis] |