Probing chalcogenide films by advanced X-ray metrology for the semiconductor industry
Les nouveaux matériaux de type chalcogénures (à base de S, Se, Te) font l’objet d’un intérêt croissant, non seulement pour les applications mémoires avancées, photonique et photovoltaïque, mais également autour des matériaux dichalcogénures innovants à base de métaux de transition (MoS₂, WS₂, ..). L...
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| Language: | en |
| Published: |
2018
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2018SACLS330/document |