Intégration de semi-conducteurs III-V sur substrat Silicium pour les transistors n-MOSFET à haute mobilité
La substitution du canal de silicium par un semi-conducteur III-V est une des voies envisagées pour accroitre la mobilité des électrons dans les transistors n-MOSFET et ainsi réduire la consommation des circuits. Afin de réduire les coûts et de profiter des plateformes industrielles de la microélect...
Main Author: | Billaud, Mathilde |
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Other Authors: | Grenoble Alpes |
Language: | fr |
Published: |
2017
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Subjects: | |
Online Access: | http://www.theses.fr/2017GREAT010/document |
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