Films piézoélectriques sans plomb par une approche sol gel et applications potentielles dans les MEMS

Les composés à base du plomb sont très utilisés dans l'industrie microélectronique en raison de leurs propriétés ferroélectriques et piézoélectriques. Cependant, en raison de la toxicité du plomb, la recherche est dirigée vers le développement des matériaux piézoélectriques « écologiques » (san...

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Bibliographic Details
Main Author: Abou Dargham, Sara
Other Authors: Valenciennes
Language:fr
Published: 2016
Subjects:
Online Access:http://www.theses.fr/2016VALE0031/document