Collage de silicium et d'oxyde de silicium : mécanismes mis en jeu
Le collage direct consiste en la mise en contact de deux surfaces suffisamment lisses et propres pour qu'une adhésion puisse se créer sans ajout de matière à l'interface. Ce procédé réalisable à l'échelle industrielle trouve son intérêt dans l'empilement de structures ou de matér...
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| Language: | fr |
| Published: |
2014
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2014GRENI088/document |