Conception et réalisation d'un capteur MEMS multifonctions
La problématique entourant la mise en oeuvre, la conception et le conditionnement de micro-capteurs au sein d'une application embarquée représente un enjeu industriel majeur, consiste en un vaste ensemble de défis techniques et touche à de nombreux champs de recherche scientifiques comme d'...
Main Author: | Legendre, Olivier |
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Other Authors: | Paris 11 |
Language: | fr |
Published: |
2013
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Subjects: | |
Online Access: | http://www.theses.fr/2013PA112238/document |
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